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    ?JC系列磁控濺射鍍膜機
    • 用途及特點
    • 規格參數
      JC系列用途及特點
      Use and Features
       
      ●磁控濺射鍍膜設備主要用于在基片上鍍制金屬、半導體、電介質、多元素化合物或混和物。利用濺射法可制備金屬膜、半導體膜、絕緣膜、硬質膜、耐熱膜、耐腐蝕膜、超導膜、磁性膜、光學膜等各種特殊性能的薄膜。
      ●基片尺寸適應範圍廣,可鍍制多種材料,工藝可控性好、靈活性強、重複性高、基片溫升小、膜層附著力強,計算機全自動控制,******性高。且安裝維護方便,占地位置小。
      JC系列磁控濺射鍍膜機
      Series JC Magnetron Sputtering Coater
       
      主要機型及參數
      Main models and parameters
      型號
      Model
      應用特點
      Application field
      裝片工作台特點
      Features of film loading bench
      基片尺寸
      Size of substrate
      産量/每小時
      1μ鋁層厚度
      Output per hour 1μm aluminum coating thickness
      厚度
      均勻性
      thickness homogeneity
      真空系統
      Vacuum system
      JC400-1/D 適合科研、生産矽片及砷化镓片
      Scientific research,production of silicon film and gallium arsenide film
      全自動盒對盒送片,濺射源數量可按工藝調整,低塵粒
      Full automatic box-to-box film advance;quantity of sputtering source to be adiusted as per the process;low in density of dust particles
      4~6″ 40 ±5% 低溫泵加
      分子泵系統
      Cryogenic pump system added with molecular pump
      JC500-1/D 適用于圓形片狀工件
      Circular sheet work-piece
      工件可進行公轉,水平裝片
      Revolution of work-piece available;horizontal film loading
      4″ 16 ±8% 分子泵系統
      Turbomolecular pump system
      JC500-5/D 適用于矩形片狀工件
      Rectangular sheet work-piecevv
      工件可進行公轉,垂直裝片
      Revolution of work-piece available;vertical film loading
      150x150mm 10 ±8% 分子泵系統
      Turbomolecular pump system
      JC600-1/D 適用于矩形片狀工件
      Rectangular sheet work-piecevv
      工件架爲十邊拄形,垂直裝片
      work-piece holder in decagonal column shape;vertical film loading
      280x100mm 20 ±8% 擴散泵系統
      Diffusion pump system
      JC600-2/D 適合科研、生産砷化镓基片線寬亞微米級
      Scientific research,production of gallium arsenide film with line width at submicron level
      工件可進行自傳、公轉
      水平裝片
      Rotation and revolution of work-piece available;horizontal film loading
      3″ 24 ±5% 低溫泵系統
      Cryogenic pump system
      JC650-1/D 適用于矩形或圓形片狀工件
      Rectangular or circular sheet work-piece
      工件可進行公轉,水平裝片
      revolution of work-piece available;horizontal film loading
      Φ100mm 10 ±5% 分子泵系統
      Turbomolecular pump system
       

    本莊优子大嫂

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