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    ZZS系列箱式真空鍍膜機
    • 用途及特點
    • 規格參數
      简 介
       
      成都南光機器有限公司ZZS系列箱式真空鍍膜機,经过四十多年的发展,形成了真空镀膜室尺寸从350毫米到3600毫米的箱式真空镀膜机系列产品。广泛应用于企业、科研院所、大专院校的科研和量产化生产领域,是镀制多层光学薄膜、电学薄膜的理想设备。
       
      産品特點

      ●采用箱式結構,真空系統後置,便于操作和維修;整機表面平整,方便清潔,特別適合放置在淨化間內做穿牆式安裝。

      ●設備真空系統抽速大,具有抽氣時間短,真空度高,生産周期短等優點。

      ●采用管狀加熱器上烘烤,烘烤溫度均勻,壽命長,可達到******烘烤溫度350℃,烘烤均勻性270℃±10℃。

      ●工件轉動采用上部中心驅動,軸承帶水冷,磁流體密封,轉動平穩******。

      ●采用石英晶體膜厚控制儀,可實現鍍膜過程的自動控制。

      ●采用******的鍍膜控制系統,人機操作界面美觀實用,系統穩定******,可實現系統的手動、半自動和全自動操作。
       
      適用範圍
       
      ●用于生産IR-CUT濾光片、分色濾光片、高反射膜、AR膜、長波通、短波通和多種電學薄膜
       
      常用標准配置
       
      ●以下表格内容为我公司五种常用标准机型的配置及指标,多年来我公司先后开发了350、450、500、550、630、700、800、900、1100、1250、1300、1500、1800、2200、2500、3600尺寸系列的箱式真空镀膜机。为满足广大用户的不同需求,我公司可接受多种形式的真空镀膜机的定制要求,包括对真空室体尺寸、真空系统配置、工件夾具系统、工件烘烤系統、膜厚監控系統、蒸發源系统、充气系统、离子源系统以及電氣控制系統的特殊定制。
      ZZS系列箱式真空鍍膜機
      Series ZZS Box-type Vacuum Coating Machine
       
      常用標准配置表
      Standard configurations for common use
      型  号
      Model
      ZZS600 ZZS700 ZZS800 ZZS900 ZZS1100 ZZS1300 ZZS1800
      真空室尺寸(直徑×高)
      Size of the vacuum chamber (diameter× height)
      Φ600×750 Φ710×850 Φ800×900 Φ900×1000 Φ1100×1300 Φ1300×1300 Φ1800×2000
      極限真空度
      Ultimate vacuum degree
      ≤3.0×10-4Pa
      恢複真空時間
      Time for vacuum recovery
      4.0×10-3Pa≤15min
      抽氣系統
      Pumping system
      扩散泵 Diffusion pump K-400 TK-500
       K-600 
      K-630 TK-500×2 K-630×2 K-800×2
      罗茨泵 Roots pump       ZJP-150 ZJP-300 ZJP-300 ZJP-1200
      机械泵 Mechanical pump 2X-30 2X-70 2X-70 2X-70 2X-70 2X-70 2X-70,H-150×2
      真空測量系統
      Vacuum measuring system
      配三路數字複合真空計,兩路低真空,一路高真空
      Three-way digital compound vacuum gauge, two ways of low vacuum and one of high vacuum
      操作方式
      Operation mode
      手動/自動
      Manual/automatic
      工件夾具
      Work piece holder
      Φ600 Φ640 Φ750 Φ840 Φ1040 Φ1240 Φ1720
      工件烘烤系統
      Work piece baking system
      上烘烤,铠裝管狀加熱器加熱,******溫度350℃,PID自動控溫及顯示
      Up baking; heated by sheathed tubular heating element; maximum temperature 350℃; PID automatic temperature control and display.
      蒸發源
      Evaporation source
       
      电阻蒸發源
      Resistance evaporation source
      电阻蒸發源功率4KW(8V、600A)
      Power of the resistance evaporation source: 4KW (8V, 600A)
      电子束蒸發源
      Electron beam evaporation source
       
      E型电子束蒸發源,功率6~10KW
      Power of E-type electron beam evaporation source: 6-10KW
      膜厚監控系統
      Monitoring system on depth of films
      光學膜厚監控,波長範圍380-800nm,9透反射光路,六位電動比較片帶顯示;石英晶體膜厚監控,美國SQC-310、IC/6
      The optical film thickness monitor, a wavelength range of 380-800nm, 9transflective optical path, six electric comparison sheet with display; quartz crystal thickness monitoring, the United States SQC-310, IC / 6
      充气系统 charge systems 自動壓強儀2~510-2Pa
      Automatic pressure instrument
      質量流量計:單路單顯,雙路雙顯
      Mass flow meter: one way one display, dual way dual display
      離子輔助(選配)
      Ion-assisted (optional)
      H6霍爾離子源、H10霍爾離子源、Φ12cm考夫曼離子源、Φ16cm考夫曼離子源
      H6 Hall ion source, H10 Hall ion source, Φ12cm Kaufman ion source, Φ16cm Kaufman ion source
      深冷捕集器(選配)
      Cryogenic trap (optional)
      國産12P、國産15P、進口POLYCOLD550、進口POLYCOLD670
      Domestic 12P, 15P, POLYCOLD 550, POLYCOLD 670
       
      動力需求
      Power demand
      冷卻水
      Cooling water
      壓力溫度
      Pressure and temperature
      壓力:0.25~0.35MPa;溫度≤25℃
      Pressure: 0.25-0.35MPa; temperature ≤25℃
      流量
      Flow rate
      ≥50L/min ≥60L/min ≥80L/min ≥100L/min ≥140L/min ≥160L/min ≥180L/min
      壓縮空氣
      Compressed air
      壓力:0.5~0.7MPa
      Pressure: 0.5-0.7MPa
      ******消耗電力
      Maximum power consumption
      ~25KW ~35KW ~40KW ~45KW ~50KW ~60KW ~120KW
      設備外形尺寸(寬×深×高)
      Overall dimension (width×depth×height)
      2100×1800×2000 3350×2600×2370 3580×3000×2450 3870×3600×2670 3870×3600×2670 3900×4050×2950 4400×4000×3600
      設備總重(KG)
      Gross weight (Kg)
       
      約1500
      About 1,500
      約2000
      About 2,000
      約2500
      About 2,500
      約3000
      About 3,000
      約3000
      About 3,000
      約4000
      About 4,000
      約6000
      About 4,000
       
       
       

    本莊优子大嫂

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