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    F型渦輪分子泵
    • 用途及特點
    • 規格參數
      产品用途:Product Applications
       
      ●渦輪分子泵用于高真空和超高真空,它不能直接對大氣排氣,需要配置前級泵。
       
      主要应用领域:Main applications:
       
      ●表面物理和分析儀器
      ●等離子體物理,空間研究
      ●核聚變裝置
      ●原子束分子束系統,粒子加速器
      ●真空鍍膜
      ●真空冶煉
      ●半導體和光學器件制造

      产品特点:Product Features
       
      ●體積小,安裝和使用方便
      ●理想的動平衡,震動和噪音小
      ●壓力在10-1~10-8pa範圍內有恒定的抽速
      ●陶瓷軸承使用壽命長
      F型渦輪分子泵
      Model F Vertical  Turbomolecular  Pump
      技术参数Technical specifications:
      型號 
      Model
      FC-150/450 FG-150/450 FC-250/1400 FG-250/1400 F-400B/3500
      進氣口法蘭 
      Inlet flange  (mm)
      DN160CF DN160LF DN250CF DN250LF DN400LF
      出氣口法蘭 
      Oulet flange  (mm)
      DN40KF DN63LF DN100LF
      抽氣速度  
      Pumping speed  (L/S)
      450 1400 3500
      極限壓力
      Ultimate pressure
      不烘烤
      Without baking  (Pa)
      6×10-6 6×10-6 6×10-6
      壓縮比
      Compression ratio
      對N2 108 108 108
      對H2 102 102 102
      转速RPM   (r/min) 24000 24000 14100
      起動時間  
      Start-up time <(Min)
      5 10 20
      前級壓力  
      Fore pressure <(Pa)
      10 10 10
      建議采用的前級泵
      Recommended backing pump  (L/s)
      8 15 30
      冷卻水溫度
      Cooling water temperature <(℃)
      ≤25 ≤25 ≤25
      冷卻水壓力
      Cooling water pressure (Mpa)
      0.196 0.196 0.196
      泵體烘烤溫度
      Temperature of baking <(℃)
      120 120 120
      重量  
      Weight(Kg)
      35 70 125
       

    本莊优子大嫂

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