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    RK GGC-D10坩埚传动装置
    • 用途及特點
    • 規格參數
      産品特點
       
      ●'RK GGC-D10型坩埚傳動裝置爲外置式傳動系統;
      ●整個裝置分爲坩埚水冷部分和傳動部分(如圖);兩部分結構模塊化構成兩個整體,對安裝、拆卸、維護、修理特別方便簡捷。
      ●可承載實際情況下的任意穴位的坩埚;
      ●滿足傳動軸動密封和磁流體密封互換,任意選用;
      ●坩埚可從真空室體上方取出,方便清潔維護;
      ●強大扭矩有效防止步進電機丟步情況發生。
      技術指標
       
      ●安裝條件:豎直安裝;真空室底板開孔爲φ40mm~φ60mm;
      ●采用減速電機傳動:減速器減速比爲1:32,電機爲步進電機;
      ●傳動方式:中心主軸傳動;
      ●冷卻水速率:10L/分~20L/分(水溫需在15℃~25℃);
      ●轉動扭矩:74Nm。

    本莊优子大嫂

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